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Eine Dotierung oder das Dotieren (v. lat. dotare: ausstatten) ist bei Halbleitern das Einbringen (Implantation) von Fremdatomen in eine Schicht oder ins Grundmaterial eines elektronischen Bauteiles oder eines integrierten Schaltkreises, und zwar in sehr geringer Konzentration (Größenordnung ca. 10 e-10). Dies verändert gezielt die Eigenschaften dieser Schicht, meistens die Leitfähigkeit oder die Kristallstruktur.
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